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中新网北京5月9日电(记者孙自法郑莹莹)中国科学院最新发布消息说,新年由中国科学院上海微系统与信息技术研究所(上海微系统所)、新年瑞士洛桑联邦理工学院组成的合作组织在国际上另辟蹊径,最近在钽酸锂异质集成晶圆及高性能光子芯片制备领域取得突破性进展,已成功研发并实现可批量制造的新型光子芯片——钽酸锂集成光子芯片,相关研究成果论文于北京时间5月8日夜间在国际著名学术期刊《自然》上线发表。中国科学院上海微系统所/供图论文共同通讯作者、俗渐中国科学院上海微系统所欧欣研究员表示,俗渐研究组织采用基于万能离子刀的异质集成技术,通过氢离子注入结合晶圆键合的方法,制备了高质量硅基钽酸锂单晶薄膜异质晶圆,随后进一步联合开发出超低损耗钽酸锂光子器件微纳加工方法。过年(a)硅基钽酸锂异质晶圆。
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